加速度傳感器，包括由硅膜片、上蓋、下蓋，膜片處于上蓋、下蓋之間，鍵合在一起；一維或二維納米材料、金電極和引線分布在膜片上，并采用壓焊工藝引出導線；工業(yè)現(xiàn)場測振傳感器，主要是壓電式加速度傳感器。其工作原理主要利于壓電敏感元件的壓電效應得到與振動或者壓力成正比的電荷量或者電壓量。目前工業(yè)現(xiàn)場典型采用IEPE型加速度傳感器，及內(nèi)置IC電路壓電加速度傳感器，傳感器輸出與振動量正正比的電壓信號，例如：100mV/g(每個加速度單位輸出100mV電壓值。1g=9.81m/s-2)并把一維或二維納米材料連接成測量電橋；所述的信號處理電路包括：整流穩(wěn)壓電路、載波振蕩器、測量電橋和交流載波放大器。加速度(力)信號作用在質(zhì)量塊上，使膜片發(fā)生應變，利用膜片上的納米材料測出應變，利用全橋檢測方法，將材料應變轉(zhuǎn)化為電信號，再通過一系列的信號處理過程，從而得到被測加速度信號的數(shù)值。根據(jù)本發(fā)明的這種微型膜片式加速度傳感器具有很高的靈敏度，并可進行批量生產(chǎn)。